聚氨酯研磨抛光材料
聚氨酯(PU)研磨抛光材料是一种利用聚氨酯材料特性设计的高性能工业耗材,广泛应用于半导体、光学玻璃、金属加工等领域,其核心优势在于通过材料与结构的协同作用,实现高效、均匀的研磨抛光效果。
● 材料特性与设计
聚氨酯抛光耗材:具备高耐磨性、耐化学腐蚀性(耐油、耐酸碱)和可控的硬度(邵氏硬度45A~90A),可适应不同抛光需求。
● 结构设计
多孔结构:开孔或闭孔发泡设计(孔径10~100μm),用于储存和输送抛光液,确保抛光过程中磨料均匀分布。
表面纹理:沟槽、网格或凸点图案,优化抛光液流动路径,减少划痕并提高平整度。
● 工作原理
化学-机械协同抛光 (CMP)
化学作用:抛光液中的活性成分(如pH调节剂)软化工件表面,加速抛光效率。
物理研磨:聚氨酯垫的弹性表面通过微凸起与工件接触,配合磨料颗粒(如二氧化硅、氧化铝)实现材料去除。